安迈特科技取得冷却装置及真空镀膜设备专利,大幅度提升镀膜速率:真空镀膜

金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,安迈特科技(北京)有限公司取得一项名为“37711.冷却装置及真空镀膜设备”的专利,授权公告号CN222770946U,申请日期为2024年6月真空镀膜

专利摘要显示,本公开提供一种冷却装置及真空镀膜设备,所述冷却装置包括:冷却主辊、蒸镀模块以及冷却面板真空镀膜 。所述冷却主辊配置为输送基材并为所述基材降温;所述蒸镀模块配置为蒸发靶材以为所述基材镀膜;所述水冷面板设置于所述冷却主辊与所述蒸镀模块之间,所述水冷面板的表面的至少部分下沉形成冷却空间,所述冷却空间用于容纳至少部分的所述冷却主辊,所述水冷面板配置为使所述靶材降温以为所述基材镀膜,其中,所述水冷面板内部设置有冷却循环管路,配置为降低所述水冷面板的表面温度。本公开提供的冷却装置可以有效避免出现基材损坏的现象,有利于减少靶材飞溅,解决了真空镀铜工艺过程中由冷却效果不足导致的热损伤的难题,大幅度提升镀膜速率。

天眼查资料显示,安迈特科技(北京)有限公司,成立于2021年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业真空镀膜 。企业注册资本5336.6828万人民币。通过天眼查大数据分析,安迈特科技(北京)有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息111条,此外企业还拥有行政许可12个。

来源:金融界

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