金融界2025年4月16日消息,国家知识产权局信息显示,成都中科唯实仪器有限责任公司申请一项名为“带烘干及偏压功能的真空镀膜夹具”的专利,公开号 CN 119824384 A,申请日期为2025年1月真空镀膜 。
专利摘要显示,本发明涉及技术领域,公开了一种带烘干及偏压功能的真空镀膜夹具,包括安装座和升降座,安装座设有升降驱动机构,升降座的上端面设有第一连接法兰,第一连接法兰连接有转动机构,转动机构的上部连接有基片托架,中部连接有烘干机构和偏压件,下部连接有转动驱动机构;第一连接法兰设有密封机构,包括波纹管,波纹管外套于转动机构,波纹管的两端均设有第二连接法兰,其中一个第二连接法兰与第一连接法兰连接,另一个第二连接法兰与镀膜腔体连接真空镀膜 。本发明升降机构、烘干机构、转动机构均集成设置在升降座上升降机构以及部分转动机构均位于镀膜腔体的外部,不会占用镀膜腔体的空间,提高镀膜效率并且不会被镀膜靶料污染,并且拆卸维修方便快捷。
天眼查资料显示,成都中科唯实仪器有限责任公司,成立于2001年,位于成都市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业真空镀膜 。企业注册资本2280万人民币。通过天眼查大数据分析,成都中科唯实仪器有限责任公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目48次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息125条,此外企业还拥有行政许可5个。
来源:金融界